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壓電式超聲波傳感器是利用壓電材料的壓電效應(yīng)原理來(lái)工作的,常用的敏感元件材料主要有壓電晶體和壓電陶瓷。根據(jù)正、逆壓電效應(yīng)的不同,壓電式超聲波傳感器分為發(fā)生器和接收器兩種,根據(jù)結(jié)構(gòu)和使用的波型不同可分為直探頭、表面波探頭、蘭姆波探頭、可變角探頭、雙晶探頭、聚焦探頭、水浸探頭、噴水探頭和專(zhuān)用探頭等。
壓電式超聲波接收器是利用正壓電效應(yīng)原理進(jìn)行工作的。當(dāng)超聲波作用到壓電晶片上引起晶片伸縮,在晶片的兩個(gè)表面上便產(chǎn)生極性相反的電荷,這些電荷被轉(zhuǎn)換成電壓經(jīng)放大后送到測(cè)量電路,最后記錄或顯示出來(lái)。壓電式超聲波接收器的結(jié)構(gòu)和超聲波發(fā)生器基本相同,有時(shí)就用同一個(gè)傳感器兼作發(fā)生器和接收器兩種用途。
壓電式超聲波發(fā)生器是利用逆壓電效應(yīng)的原理,將高頻電振動(dòng)轉(zhuǎn)換成高頻機(jī)械振動(dòng),從而產(chǎn)生超聲波。當(dāng)外加交變電壓的頻率等于壓電材料的固有頻率時(shí)會(huì)產(chǎn)生共振,此時(shí)產(chǎn)生的超聲波最強(qiáng)。壓電式超聲波傳感器可以產(chǎn)生幾十千赫到幾十兆赫的高頻超聲波,其聲強(qiáng)可達(dá)幾十瓦每平方厘米。
典型的壓電式超聲波傳感器結(jié)構(gòu)主要由壓電晶片、吸收塊、保護(hù)膜等組成。壓電晶片多為圓板形,超聲波頻率與其厚度成反比。壓電晶片的兩面鍍有銀層,作為導(dǎo)電的極板,底面接地,上面接至引出線。為了避免超聲波傳感器與被測(cè)件直接接觸而磨損壓電晶片,在壓電晶片下粘合一層保護(hù)膜。吸收塊的作用是降低壓電晶片的機(jī)械品質(zhì),吸收超聲波的能量。